微桥质量气流传感器通过测量从加热器电阻器到位于加热器两侧的温度感应电阻器的相对热量传递速率来进行操作。传热与质量流量成正比。如果介质的热特性发生变化，则会发生传感器灵敏度（热效率）的偏移。主要因素是被测气体的热导率。另外，热容和气体粘度引起的影响较小。对于给定的气体，热容和气体粘度是常数。但是，如果气体成分发生变化，这些特性也会发生变化。幸运的是，空气，氮气和氧气具有几乎相同的特性。
空气中0.5％的氩（Ar）并不显着，温度低于40°C（104°F）时相对湿度从0至99％也不重要。温度超过40°C（104°F）时，湿度为100％，则表明超过1％的大气层是水。这可能会导致传感器输出的明显增加。与氩气和100％湿度的实际偏差是相反的，并且在温度低于40°C（104°F）时，可能会部分相互抵消。
一氧化碳（CO）和一氧化氮（NO）具有与空气相似的特性。 与空气相比，二氧化碳（CO2）的灵敏度会提高（大约135％，这可能会随流速而变化）。 类似于CO2的气体是一氧化二氮（N2O）和二氧化氮（NO2）。 氦具有很高的热导率，除非电源电压增加到15 VDC *，否则它将使传感器上的加热器控制电路饱和。 然后将氦气的敏感性降低到两升氦气产生的质量相当于一升（1,000 sccm）空气或氮气流量的程度。 校正因子将取决于温度和实际的低速率。
