LDE/LME 系列流量传感器 – 应用指南

 测量原理LDE/LME 微差压传感器来自于德国Sensortechnics 可以测量超低气体压力， 满量程仅仅 25 Pa (0.1 in H2O) 。这种传感器是基于**到 MEMS 技术，这种技术是在硅传感器芯片上内置微流体通道。同时，传感器使用成熟的热质量流量测量来推算压差原理（图1）。 一个加热元件位于两个温敏电阻之间。气流从上游向下游电阻传递热量，导致它们之间的温度差，结果产生与质量流量成比例的电压信号。 由于流量是由两个传感器端口之间的压力差引起的， 所以输出信号也是施加压差的量度。

图2显示了LDE / LME传感元件作测量不同的压力得到的非放大输出。 LDE / LME技术具有高动态范围和高灵敏度， 对于低压特别是在接近零点领域。 LDE / LME传感器提供模拟信号调理校准，温度补偿和放大。 他们可以针对不同应用需求进行了优化，无论是需要高灵敏度，高动态范围或线性输出信号。