2025 年 4 月 10 - 11 日，欧洲 CMP 和 WET 用户组春季会议在比利时鲁汶举行，SONOTEC 作为参展商参会，展示为半导体行业开发的 SEMIFLOW® 传感器系列，用于非接触式液体流量测量。该系列传感器可用于晶圆生产和加工多个环节，具有紧凑坚固、非接触测量、低功耗等优点，还有适用于潜在爆炸环境的型号，此次会议为 SONOTEC 提供了与行业专家交流、适应市场需求的机会。
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会议概况
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名称：欧洲 CMP 和 WET 用户组春季会议
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时间：2025 年 4 月 10 - 11 日
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地点：比利时鲁汶 imec 研发中心
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主题：聚焦化学机械平坦化 / 抛光（CMP），涉及技术、新应用、计量、过程控制等讨论
2. 内容
欧洲CMP和WET用户组春季会议将于2025年4月10日至11日在比利时鲁汶举行。作为参展商，SONOTEC 将展示其用于非接触式液体流量测量的 SEMIFLOW® 传感器系列。
在4月10日和11日于比利时鲁汶举行的欧洲CMP和WET用户组会议上，SONOTEC将继续作为参展商参加这一系列活动。这家超声波流量传感器专家将展示其专门为半导体行业开发的 SEMIFLOW 传感器系列。与工业用 SONOCHECK 气泡检测器一起，结构紧凑的 SEMIFLOW 流量传感器可用于晶片生产和加工的各个工艺步骤。
鲁汶会议的重点是化学机械平坦化/抛光（CMP），为讨论技术、新应用、计量学、工艺控制等问题提供了**的机会。对于 CMP 专业人士来说，这次会议是讨论**和交流经验的理想场所。
“在全球挑战和对**技术日益增长的需求的推动下，半导体市场充满活力和挑战。尽管市场环境动荡不安，但我们仍成功巩固了自己的市场地位。通过战略投资、紧密的合作伙伴关系和高水平的**，我们得以保持在半导体行业的增长。SONOTEC 国际战略和销售经理 Anika Baumhauer 解释说："特别是，欧洲 CMP 和 WET 用户组会议等活动为我们提供了与行业专家交流的**机会，使我们的传感器技术能够更好地适应半导体市场的需求。
SONOTEC 开发的 SEMIFLOW 系列流量传感器结构紧凑、坚固耐用，可有效测量和监控工厂内和特定工艺中化学品和其他液体的传输和分布情况。例如，传感器可用于测量 CMP 工艺中的浆料供应量，或监测湿式工作台生产线中蚀刻工艺的填充量。流量或体积通过夹持式结构从行业专用的硬质塑料管和管道外部确定，消除了任何污染或泄漏风险。
传感器材料坚固耐用，产品使用寿命长，功耗极低，运行成本低。因此，非接触式流量计可为工厂的可持续发展战略做出贡献。SEMIFLOW 传感器的另一个特点是外壳设计紧凑，集成了电子元件。它们只需要很小的厂房空间，并且可以很容易地集成到现有的工艺链和架构中。SONOTEC 提供各种尺寸的 SEMIFLOW 系列产品，以涵盖各种直径的 PFA、PTFE 和其他硬塑料管道。
SONOTEC 提供 SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 传感器系列，用于潜在爆炸环境中的流量测量。本安型超声波流量计的设计符合 ATEX/IECEx 标准，可在 1 区生产区域**运行。传感器根据 IIB 气体组别标准提供防爆保护；设备保护级别 (EPL) 为 “Gb”。
SONOTEC 将于 2025 年 4 月 10 日至 11 日在比利时鲁汶 imec 研发中心举行的欧洲 CMP 和湿式用户组会议期间与您见面。
