新型SEMIFLOW Ex1 Set开启了本安型超声流量传感器的新产品类别，该传感器带有控制装置，可在中小型刚性塑料管上进行非接触式液体流量测量，以确保在危险区域中的**操作。 SEMIFLOW CO.66 PI Ex1传感器具有IIB气体类别的气体，蒸气和液体保护，免受爆炸危险。根据ATEX / IECEx，设备保护级别（EPL）为“ Gb”，用于1区。
根据IEC 60079-11（ATEX / IECEx），屏障盒ST Ex1用于限制提供给SEMIFLOW流量传感器的能量，以避免点火。该设备向防爆区域外的操作员提供所有必要的电源和数据接口，并允许本安型SEMIFLOW用于爆炸性气体环境（IIB区1区）可能引起火灾或爆炸危险的危险区域。
SEMIFLOW流量计已成功应用于不同的半导体工艺中
根据ATEX / IECEx，专门用于1区危险区域的传感器基于成功的SEMIFLOW系列。凭借其强大的工业设计，SEMIFLOW流量计专门设计用于对单晶片清洁，光刻和混合设备，化学药品供应系统和工业应用中的研磨性，粘附性，腐蚀性和超纯液体进行高精度和非接触式流量和体积测量。泥浆线。紧凑型传感器以其新的夹钳式结构而著称，从而消除了污染和泄漏的任何风险。因此，流量计可以轻松集成到现有架构中，而不会造成系统停机的麻烦。 SEMIFLOW传感器有八种不同的传感器尺寸，适用于各种尺寸的管子。它们非常适合PFA，PTFE和其他硬塑料管材。
SONOTEC®已在数十年的非接触式超声波流量测量设备中进行业务活动
SEMIFLOW传感器的开发得益于数十年来设计非接触式超声波流量传感器的经验，该传感器适用于生物制药以及针对特定**方面具有严格规定的医疗设备的高度敏感应用。因此，某些传感器性能特征，例如高达400 L / min的高精度实时瞬时流量测量，体积累加器的实现，广泛的标准工业接口以及处理各种管道的专业知识的特性和几何形状可以成功地应用于SEMIFLOW传感器范围。
