SONOTEC®为高纯半导体应用开发并全球分销新型钳式流量计
由于半导体工业的特点是采用了多种液体流动工艺，其中使用了不同的磨蚀性，粘附性，腐蚀性和超纯液体，因此保持这些工艺的**性，稳定性和高质量至关重要。 SEMIFLOW流量计是专门为满足半导体行业特定领域的需求而设计的。这些传感器现已在整个SONOTEC®分销网络中全球发售。
SEMIFLOW流量传感器是经过行业验证的仪表，结合了对鲁棒设计的需求的钳式设计，可消除任何污染和泄漏的风险，而不会造成系统停机的麻烦。由于它们的紧凑型外壳带有板载电子设备和分析单元，因此流量计的大小与单个传感器一样小，因此可以轻松地集成到现有的过程链和体系结构中。 SEMIFLOW传感器具有不同的传感器和通道尺寸，适用于各种管尺寸。它们非常适合PFA，PTFE和其他硬塑料管材。
经现场验证的技术可用于复杂的半导体应用
液体流量测量在晶圆制造中起着重要作用，在晶圆制造中，在不同的湿法工艺中使用了几种磨蚀性，粘附性和腐蚀性液体。例如，在单晶片或批量清洁过程中，监视清洁溶液的流量至关重要。如果剂量不足或过量，则必须重复清洁过程，并需要额外的资源。在*坏的情况下，晶片会变得有缺陷，并造成巨大的价值损失。因此，准确的流量测量对于有效利用生产资源至关重要。除了将其集成到晶圆清洗设备中之外，SEMIFLOW流量计还已成功应用于光刻和混合设备，化学药品供应系统和浆料生产线中。
SONOTEC®从事非接触式超声波流量测量设备的业务活动已有几十年了
SEMIFLOW传感器的开发受益于数十年的非接触式超声流量传感器设计经验，这些传感器用于生物制药以及具有严格**法规的医疗设备中的高灵敏度应用。因此，某些传感器的性能特征，例如高达400 L / min的高精度实时瞬时流量测量，体积累加器的实现，广泛的标准工业接口以及处理各种管道的专业知识特性和几何形状已成功应用于SEMIFLOW传感器系列。
超声波SEMIFLOW流量计利用的物理原理
SEMIFLOW传感器配备有四个以X型排列的超声换能器。换能器从一侧到另一侧发出给定频率的脉动超声波，这些换能器测量超声波在液体的流动方向上和逆着液体流动方向的飞行时间。所产生的时间差与平均流速成正比。流量由该平均流速和管道横截面积的乘积得出。
过渡时间方法既不会导致管内压力下降，也不会造成泄漏风险。经过适当的校准，传输时间几乎可以影响所有液体的粘度，密度，颜色和电磁特性。不需要离子和颗粒物质来计算测量值。
